839 最后的战役 二（1/10）

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　　沪市，张江技术园区。
　　中微半导总部的周，布置了密密麻麻的电网和监控器，安力更是配备齐全。
　　一座不眼的工厂里，沙领导、郑韩等一众领导，在陆飞的带领下，来到车间。
　　隔着玻璃窗，就能到一个巨型交车大的刻，身穿防尘服的工作人员在操控这样的庞大，一个工作台完成扫描曝的同时，另一个工作台也进行对准、调焦、下片等行动。
　　“为芯片的过中，不是一曝就可以完成，而是需要经历多曝。”
　　“在曝完一个区域之后，置硅晶圆的曝台就必须快速进行移动，着曝下一個需要曝的区域，要在这多快速移动中实现纳米级的对准，双工作台就必须到精度高而且操作时间短，这项技术来有ASL有，现在已经我们突破了。”
　　陆飞滔滔不绝，如数家珍。
　　领导们一言不发，目不转睛地盯着运行中的刻，虽不是一见到刻，一到这是一台国产的DUV浸润刻，压不住激动的，尽可能地往靠，凑得更一，得更清楚一。
　　“了不啊，陆，们了不啊。”